1、主要負(fù)責(zé)新型MEMS器件加工、新工藝開發(fā)、技術(shù)轉(zhuǎn)移轉(zhuǎn)化等，協(xié)同器件設(shè)計(jì)、封裝、測試等技術(shù)環(huán)節(jié)開展工作；
2、根據(jù)項(xiàng)目和產(chǎn)品定義與規(guī)范要求，制定MEMS工藝方案與研發(fā)進(jìn)度；
3、全面了解流片相關(guān)設(shè)備，審核工藝文件（科學(xué)性、完整性、規(guī)范性），確保符合項(xiàng)目要求；
4、負(fù)責(zé)MEMS工藝加工的進(jìn)度跟蹤及協(xié)調(diào)工作；
5、對MEMS器件的加工工藝問題進(jìn)行追蹤、監(jiān)控、分析和認(rèn)證，設(shè)計(jì)針對性實(shí)驗(yàn)和測試方法進(jìn)行MEMS器件設(shè)計(jì)有效性的驗(yàn)證，解決工藝問題；
